Kỹ thuật chân không ngày nay gắn liền với lĩnh vực cơ khi và công nghệ bề mặt khi các ứng dụng đã trở thành một bước trong quy trình công nghệ gia công các chi tiết máy và sản phẩm công nghiệp, bao gồm cá cơ khi chính xác và máy công cụ. Năng suất, chất lượng, hiệu quả kinh tế là những yếu tố mà sản xuất cơ khi luôn phần đầu để đạt được kết quả ngày càng tốt hơn, đặc biệt là khi trình độ sản xuất được tự động hoá ở mức cao và chất lượng sản phẩm ngày càng hoàn hảo, nhất là lĩnh vực quang – cơ điện tử. Cùng với đó là yêu cầu về giảm kích thước sản phẩm với cùng chức năng kỹ thuật là những đòi hỏi cấp thiết có thể tìm thấy những gợi ý hữu ích khi người đọc xem cuốn sách này.
Tiếp nối những cuốn giáo trình về vật lý và kỹ thuật chân không để có tài liệu kịp thời phục vụ đào tạo và nghiên cứu về lĩnh vực "Kỹ thuật chân không và công nghệ bề mặt" trong lĩnh vực cơ khi, cuốn sách này được biên soạn trên cơ sở các bài giảng đã thực hiện cho sinh viên và học viên cao học, các nghiên cứu và tài liệu về lĩnh vực này ở các nước tiên tiến trên thế giới. Tài liệu này cũng sử dụng các kết quả đã được sử dụng trong công nghiệp trong và ngoài nước.
Sách được sử dụng làm giáo trình cho sinh viên ngành kỹ thuật cơ khí, chuyên ngành cơ khí chính xác và quang học cũng như cho học viên thạc sĩ ngành kỹ thuật cơ khí, vừa có tính chuyên khảo cho những kỹ sư chuyên ngành khác quan tâm đến chế tạo chi tiết cơ khí trong điều kiện chính xác và ít ảnh hưởng của môi trường như các công nghệ trong chế tạo linh kiện điện tử, công nghệ vật liệu... Cuốn sách cũng sẽ hữu ích cho các sinh viên, học viên các chuyên ngành trong kỹ thuật cơ khí, máy hoả, đầu khi, vật lý kỹ thuật, vật liệu. trong các trường đại học kỹ thuật, các cán bộ kỹ thuật kỹ sư hoạt động trong lĩnh vực liên quan, các kỹ thuật viên vận hành thiết bị trực tiếp.
Nội dung cuốn sách trình bày về dòng chảy khi loãng, hiện tượng vật lý, hoá học kết hợp với công nghệ chân không, sản xuất và đo chân không cao, kín khí và kỹ thuật phát hiện rỏ ri. Người đọc cũng tìm thấy sự dẫn giải từ các phương trình lý thuyết, phương thức điều chỉnh các yếu tố ảnh hưởng, ví dụ bằng số, bang biểu, đổ thị và các ứng dụng thực tế trong công nghiệp.
Cuốn sách bao gồm tỉnh toán thiết kế hệ chân không cùng công nghệ chế tại mảng mỏng quang học và lớp phủ bề mặt. Nó cung cấp một đánh giả rộng rãi các công nghệ mới nhất trong lĩnh vực này: Kỹ thuật chế tạo lớp phủ bằng phương pháp vật lý và lắng đọng hoả học từ pha hơi. Các tính chất cơ, hoá học cũng như thuộc tỉnh ma sát của lớp phủ và kỹ thuật kiểm tra đánh giá phương thức nâng cao chất lượng lớp phủ theo yêu cầu kỹ thuật. Các trường hợp khác nhau được xem xét để chứng minh sự cai thiện chất lượng chi tiết máy và cung cấp hướng dẫn để lựa chọn lớp phu
Cuốn sách này phù hợp cho giảng dạy, đồng thời cung cấp sự phong phủ của lỗ chức dữ liệu với mong muốn là một tài liệu hữu ích cho các kỹ sư
Trong quá trình hoàn thành ban thảo, được sự giúp đỡ và gặp ý của các đồng nghiệp, tác giả xin chân thành cảm ơn sự giúp đỡ quý báu đó. Chắc chắn tài liệu còn nhiều thiếu sót, rất mong sự góp ý của bạn đọc và các đồng nghiệp
Tác giả
